Highly sensitive pressure sensor

고감도 압력 센서

Abstract

고감도 압력 센서가 개시된다. 고감도 압력 센서는 기판; 상기 기판 위에 형성되는 복수의 나노 마이크로 구조를 포함하는 나노 구조체층; 상기 나노 구조체층 위에 형성되는 전도층; 및 상기 전도층의 위에 형성되는 전극을 포함한다.

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (2)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-S5841789-B2September 14, 1983Tokyo Shibaura Electric Co
    KR-101502762-B1March 17, 2015경희대학교 산학협력단나노섬유 웹을 이용한 하이브리드 압력센서

NO-Patent Citations (2)

    Title
    Chwee-Lin Choong 외 13인, 'Highly Stretchable Resistive Pressure Sensors Using a Conductive Elastomeric Composite on a Micropyramid Array' Adv.Mater. pp1~8, 2014
    Feng-Ru외 5인, ‘Transparent Triboelectric Nanogenerators and Self-Powered Pressure Sensors Based on Micropatterned Plastic Films’, NANO LETTERS, 12(6), pp3109-3114, 2012.5.11.*

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle