전기절연형 세라믹 라이너를 포함하는 고온 가열기 및 이의 제조방법

High temperature heater comprising electrically insulated ceramic liner and the method for manufacturing thereof

Abstract

본 발명은 전기절연형 세라믹 라이너를 포함하는 고온 가열기 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 중공 원통 형상으로 이루어지는 압력 용기; 상기 압력 용기의 내부에 구비되어 고압의 기체를 가열하는 히터 다발; 상기 압력 용기의 내주면에 부착되어 상기 히터 다발에서 발생된 열이 상기 압력 용기로 전달되는 것을 차단하는 단열재; 상기 히터 다발의 외부를 감싸며 상기 단열재의 내주면에 구비되되, 내부 공간에 고압의 기체가 흐르는 유동채널을 형성하는 중공 원통 형상의 반사체; 및상기 반사체 내에서 상기 히터 다발의 횡방향 간격을 유지시켜 히터를 전기적으로 절연시키는 간격체를 포함하되, 상기 반사체는 세라믹 라이너인 것을 특징으로 하는 전기절연형 세라믹 라이너를 포함하는 고온 가열기를 제공한다. 본 발명에 따르면, 히터 다발과 단열재 사이에 위치하는 반사체로 세라믹 라이너를 사용함으로써 고온의 환경에서 열팽창으로 인해 히터나 단자대에 접촉하여 전기적 쇼트를 일으킬 위험성을 배제할 수 있다.

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    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2004311648-ANovember 04, 2004Hitachi Kokusai Electric Inc, 株式会社日立国際電気Substrate processing equipment
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    KR-20110077607-AJuly 07, 2011한국수력원자력 주식회사, 한국원자력연구원3상 υ형 고온 가열기
    KR-20110077608-AJuly 07, 2011한국수력원자력 주식회사, 한국원자력연구원전기 절연용 간격체가 구비된 고온 가열기

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