Micromechanical device and method of designing thereof

마이크로기계 장치 및 그 설계 방법

Abstract

본 발명은 편향 또는 공진할 수 있고 상이한 재료 속성들을 갖는 적어도 2개의 영역들을 포함하는 반도체 소자, 상기 반도체 소자에 기능적으로 결합된 구동 또는 감지 수단을 포함하는 마이크로기계 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 상기 영역들의 적어도 하나는 하나 또는 그보다 많은 n-형 도핑제들을 포함하고, 상기 영역들의 상대적인 체적들, 도핑 농도들, 도핑제들 및/또는 결정 방위들은 일반화된 강성의 온도 감도들이 적어도 영역들에 대한 하나의 온도에서 부호가 반대이고, 상기 반도체 소자의 일반화된 강성의 전체적인 온도 드리프트가 100 ℃의 온도 범위 상에서 50 ppm 또는 그 미만 이도록 구성된다. 상기 장치는 공진기일 수 있다. 또한, 상기 장치를 설계하는 방법이 개시되어 있다.

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (4)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2010022000-AJanuary 28, 2010Commissariat A L'energie Atomique, St Microelectronics Sa, エス テ マイクロエレクトロニクス エス アー, コミサリア ア エナジー アトミック共振器及び共振器を形成するための方法
    JP-2010045333-AFebruary 25, 2010Commissariat A L'energie Atomique, コミサリア ア レネルジィ アトミークInhomogeneous substrate including sacrificial layer and its manufacturing method
    JP-2010162629-AJuly 29, 2010Seiko Epson Corp, セイコーエプソン株式会社Memsデバイスの製造方法
    US-2010026421-A1February 04, 2010Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.Mems resonator

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle